内部リングアンテナを用いたRFプラズマ中での帯電微粒子群の空間的挙動

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Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00012748/

アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	日本語
キーワード	内部リングアンテナ, 荷電微粒子, RFプラズマ, 微粒子雲, Ar, プラズマ放電, 半導体レーザー, CCDカメラ, イオンシース, 研究開発, 空間分布, プラズマ振動
キーワード(英)	internal ring antenna, charged particulate, RF plasma, particulate cloud, Ar, plasma discharge, semiconductor laser, CCD camera, ion sheath, research and development, spatial distribution, plasma oscillation
その他のタイトル（英）	Spatial behavior of a charged particulate cluster in an RF plasma using an inner ring antenna
著者	三沢達也井上真也原田潤一大津康徳藤田寛治
著者（英）	Misawa Tatsuya Inoue Shinya Harada Junichi Otsu Yasunori Fujita Hiroharu
著者所属	佐賀大学理工学部佐賀大学理工学部佐賀大学理工学部佐賀大学理工学部佐賀大学理工学部
著者所属（英）	Saga University Faculty of Science and Engineering Saga University Faculty of Science and Engineering Saga University Faculty of Science and Engineering Saga University Faculty of Science and Engineering Saga University Faculty of Science and Engineering
出版者	宇宙科学研究所
出版者（英）	The Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)
雑誌名	スペース・プラズマ研究会　平成14年度
雑誌名(英)	Space Plasma Conference FY2002
ページ	13 - 16
発行年	2003-06
資料番号	資料番号: AA0045919004

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