Blocked Impurity Band型Ge赤外線検出器開発の最新状況

石丸 貴博; 鈴木 仁研; 和田 武彦; 長勢 晃一; 馬場 俊介; 公地 千尋; 山本 啓太; 宮地 晃平; 渡辺 健太郎

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File / Name	License
SA6000092006.pdf
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アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	日本語
キーワード	半導体プロセス, 遠赤外線検出器, 表面活性化常温ウェハ接合
その他のタイトル（英）	Development status for germanium blocked impurity band type far-infrared detector
著者	石丸貴博鈴木仁研和田武彦長勢晃一馬場俊介公地千尋山本啓太宮地晃平渡辺健太郎
著者（英）	Ishimaru Takahiro Suzuki Toyoaki Wada Takehiko Nagase Koichi Baba Shunsuke Kochi Chihiro Yamamoto Keita Miyachi Akihira Watanabe Kentaro
著者所属	宇宙航空研究開発機構(JAXA) 名古屋大学宇宙航空研究開発機構(JAXA) 宇宙航空研究開発機構(JAXA) 宇宙航空研究開発機構(JAXA) 宇宙航空研究開発機構(JAXA) 宇宙航空研究開発機構(JAXA) 宇宙航空研究開発機構(JAXA) 東京大学先端技術研究センター
著者所属（英）	Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Nagoya University Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo (RCAST)
出版者	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)
出版者（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)
雑誌名	第4回宇宙ナノエレクトロニクスワークショップ予稿集
雑誌名(英)	4th Workshop of Nano-Electronics For Space Use
発行年	2016-12
会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）	第4回宇宙ナノエレクトロニクスワークショップ(2016年12月15日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)), 相模原市, 神奈川県
会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）（英）	4th Workshop of Nano-Electronics For Space Use (December 15, 2016. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan
著者版フラグ	author
資料番号	資料番号: SA6000092006
レポート番号	レポート番号: 6

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