Ultra High-Speed Characterization of Multicrystalline Si Wafers by Photoluminescence Imaging with HF Immersion

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Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00023494/

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	杉本広紀田島道夫
著者（英）	Sugimoto Hiroki Tajima Michio
著者所属	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS)
著者所属（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)
出版者（英）	Springer
雑誌名	Journal of Materials Science: Materials in Electronics
巻	19
号	1
ページ	127 - 131
発行年	2008-02-12
内容記述（英）	Accepted: 2008-01-29
ISSN	0957-4522
書誌レコードID	AA10758740
DOI	info:doi/10.1007/s10854-008-9615-3
資料番号	資料番号: SA1000162000

★2023年5月16日

【JAXA Repository 情報更新停止のお知らせ】

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下記、システム切替期間を除き、検索・閲覧は可能です。

【システム切替期間】

　2023年8月3日 (木)　～　2023年8月7日 (月)

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