Evaluation of the soft X-ray reflectivity of micropore optics using anisotropic wet etching of silicon wafers

doi:http://dx.doi.org/10.1364/AO.49.001007

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アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	三石郁之江副祐一郎輿石真樹三田信前田良知山崎典子満田和久白田渉雪林多佳由高野貴之前田龍太郎
著者（英）	Mitsuishi Ikuyuki Ezoe Yuichiro Koshiishi Masaki Mita Makoto Maeda Yoshitomo Yamasaki Noriko Y. Mitsuda Kazuhisa Shirata Takayuki Hayashi Takayuki Takano Takayuki Maeda Ryutaro
著者所属	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系首都大学東京宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS) 高エネルギー天文学研究系首都大学東京首都大学東京産業技術総合研究所産業技術総合研究所
著者所属（英）	Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of High Energy Astrophysics, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
出版者（英）	Optical Society of America
雑誌名	Applied Optics
巻	49
号	6
ページ	1007 - 1011
発行年	2010-02
内容記述	著者人数：11名
内容記述（英）	Accepted: 2010-01-05
ISSN	0003-6935
書誌レコードID	AA00543409
DOI	info:doi/10.1364/AO.49.001007
資料番号	資料番号: SA1000735000

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