Switched-Layer Design for SOI Bulk Micromachined XYZ Stage Using Stiction Bar for Interlayer Electrical Connection

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【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】

JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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なお、AIREXは以前と同じURLにて公開しております。


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インデックス

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00024137/

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	高橋一浩三田信藤田博之年吉洋
著者（英）	Takahashi K. Mita M. Fujita H. Toshiyoshi H.
著者所属	東京大学 : 神奈川科学技術アカデミー東京大学 : 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) 東京大学東京大学 : 神奈川科学技術アカデミー
著者所属（英）	Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Kanagawa Academy of Science and Technology Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Kanagawa Academy of Science and Technology
出版者（英）	Institute of Electrical and Electronics Engineers
雑誌名	Journal of Microelectromechanical Systems
巻	18
号	4
ページ	818 - 827
発行年	2009-08
ISSN	1057-7157
書誌レコードID	AA10821111
DOI	info:doi/10.1109/JMEMS.2009.2018371
資料番号	資料番号: SA1000828000

★2020年12月2日

システムメンテナンスのお知らせ

12月10日（木）15:00-18:00の作業時間中、1～1時間半程度、サイトを閉鎖させていただきます。ご利用の皆様にはご迷惑をおかけいたしますが、よろしくお願いします。

★2020年4月10日
【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】
JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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