Design and fabrication of MEMS-controlled probes for studying the nano-interface under in situ TEM observation

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【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】

JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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インデックス

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00026030/

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	石田忠 Nakajima Y. 角嶋邦之三田信年吉洋藤田博之
著者（英）	Ishida T. Nakajima Y. Kakushima K. Mita Makoto Toshiyoshi H. Fujita H.
著者所属	東京大学東京大学東京工業大学宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) 東京大学東京大学
著者所属（英）	Institute of Industrial Science, University of Tokyo Institute of Industrial Science, University of Tokyo Department of Electronics and Applied Physics, Tokyo Institute of Technology Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Institute of Industrial Science, University of Tokyo Institute of Industrial Science, University of Tokyo
出版者（英）	Institute of Physics
雑誌名	Journal of Micromechanics and Microengineering
巻	20
号	7
発行年	2010-07
文献番号	075011
ISSN	0960-1317
書誌レコードID	AA10804010
DOI	info:doi/10.1088/0960-1317/20/7/075011
資料番号	資料番号: SA1002738000

★2020年12月2日

システムメンテナンスのお知らせ

12月10日（木）15:00-18:00の作業時間中、1～1時間半程度、サイトを閉鎖させていただきます。ご利用の皆様にはご迷惑をおかけいたしますが、よろしくお願いします。

★2020年4月10日
【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】
JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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