An Equivalent Circuit Model for Vertical Comb Drive MEMS Optical Scanner Controlled by Pulse Width Modulation

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Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00026524/

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	丸山智史中田宗樹三田信高橋巧也藤田博之年吉洋
著者（英）	Maruyama Satoshi Nakada Muneki Mita Makoto Takahashi Takuya Fujita Hiroyuki Toshiyoshi Hiroshi
著者所属	東京大学東京大学宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) 東京大学東京大学東京大学
著者所属（英）	Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
出版者	電気学会
出版者（英）	Institute of Electrical Engineers of Japan
雑誌名	電気学会論文誌E （センサ・マイクロマシン部門誌）
雑誌名(英)	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
巻	132
号	1
ページ	1 - 9
発行年	2012
ISSN	1341-8939
書誌レコードID	AN1052634X
DOI	info:doi/10.1541/ieejsmas.132.1
資料番号	資料番号: SA1003232000

★2023年5月16日

【JAXA Repository 情報更新停止のお知らせ】

JAXA Repositoryはシステム環境の移行作業に伴い、6月～8月は新規登録および情報更新を停止いたします。

下記、システム切替期間を除き、検索・閲覧は可能です。

【システム切替期間】

　2023年8月3日 (木)　～　2023年8月7日 (月)

＊）切替期間中、JAXAリポジトリの利用は出来ません

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