Development of Ultra-Low-Noise TES Bolometer Arrays

doi:http://dx.doi.org/10.1007/s10909-015-1401-z

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学術雑誌論文 (Journal Article)

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00029060/

Development of Ultra-Low-Noise TES Bolometer Arrays 利用統計を見る

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
キーワード	Transition edge sensor, TES, Far-infrared spectrometer, SiN membrane, Cryogenic detectors, THz detectors, Deep reactive-ion etching, DRIE
著者	鈴木仁研 Khosropanah P. Ridder M. L. Hijmering R. A. Gao J. R. Akamatsu H. Gottardi L. van der Kuur J. Jackson B. D.
著者（英）	Suzuki Toyoaki Khosropanah P. Ridder M. L. Hijmering R. A. Gao J. R. Akamatsu H. Gottardi L. van der Kuur J. Jackson B. D.
著者所属	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) : SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research : Kavli Institute of NanoScience, Delft University of Technology SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research
著者所属（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) : SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research : Kavli Institute of NanoScience, Delft University of Technology SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research SRON Netherlands Institute for Space Research
出版者（英）	Springer US
雑誌名	Journal of Low Temperature Physics
巻	184
号	1
ページ	52 - 59
発行年	2016-07
内容記述（英）	Accepted: 2015-11-30
ISSN	0022-2291
書誌レコードID	AA00701270
DOI	info:doi/10.1007/s10909-015-1401-z
資料番号	資料番号: SA1160043000

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