12-inch X-ray optics based on MEMS Process

doi:http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-2980-6

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学術雑誌論文 (Journal Article)

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00029392/

12-inch X-ray optics based on MEMS Process 利用統計を見る

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	石川久美江副祐一郎沼澤正樹小川智弘佐藤真柚中村果澄大橋隆哉満田和久前田龍太郎廣島洋倉島優一野田大二
著者（英）	Ishikawa Kumi Ezoe Yuichiro Numazawa Masaki Ogawa Tomohiro Sato Mayu Nakamura Kasumi Ohashi Takaya Mitsuda Kazuhisa Maeda Ryutaro Hiroshima Hiroshi Kurashima Yuichi Noda Daiji
著者所属	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 産業技術総合研究所産業技術総合研究所産業技術総合研究所マイクロマシンセンター
著者所属（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) Tokyo Metropolitan University Tokyo Metropolitan University Tokyo Metropolitan University Tokyo Metropolitan University Tokyo Metropolitan University Tokyo Metropolitan University Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology National Institute of Advanced Industrial Science and Technology National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Micromachine Center
出版者（英）	Springer
雑誌名	Microsystem Technologies
巻	23
号	7
ページ	2815 - 2821
発行年	2017-07
内容記述	著者人数: 12名
内容記述（英）	Accepted: 2016-04-28
ISSN	0946-7076
書誌レコードID	AA11068806
DOI	info:doi/10.1007/s00542-016-2980-6
資料番号	資料番号: SA1160375000

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