Grinding and chemical mechanics polishing process for micropore x-ray optics fabricated with deep reactive ion etching

doi:http://dx.doi.org/10.1364/AO.58.005240

Grinding and chemical mechanics polishing process for micropore x-ray optics fabricated with deep reactive ion etching 利用統計を見る

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	福島碧都藤谷麻衣子石川久美沼澤正樹伊師大貴大坪亮太永利光鈴木光湯浅辰哉大橋隆哉満田和久江副祐一郎
著者（英）	Fukushima Aoto Fujitani Maiko Ishikawa Kumi Numazawa Masaki Ishi Daiki Otsubo Ryota Nagatoshi Hikaru Suzuki Hikaru Yuasa Tatsuya Ohashi Takaya Mitsuda Kazuhisa Ezoe Yuichiro
著者所属	首都大学東京首都大学東京宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京首都大学東京宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 首都大学東京
著者所属（英）	Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Department of Physics, Tokyo Metropolitan University Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) Department of Physics, Tokyo Metropolitan University
出版者（英）	Optical Society of America
雑誌名	Applied Optics
巻	58
号	19
ページ	5240 - 5247
発行年	2019-07-01
内容記述	著者人数: 12名
内容記述（英）	Accepted: 2019-06-07
ISSN	1559-128X
ISSNONLINE	2155-3165
書誌レコードID	AA00543409
DOI	info:doi/10.1364/AO.58.005240
資料番号	資料番号: SA1190048000

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