@inproceedings{weko_16268_1,
   author	 = "和田,元 and 剣持,貴弘",
   title	 = "小型スパッタ収率測定系の開発",
   booktitle	 = "平成24年度宇宙輸送シンポジウム: 講演集録",
   year 	 = "2013",
   volume	 = "",
   number	 = "",
   publisher	 = "宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)",
   month	 = "jan"
}