@inproceedings{weko_16268_1, author = "和田,元 and 剣持,貴弘", title = "小型スパッタ収率測定系の開発", booktitle = "平成24年度宇宙輸送シンポジウム: 講演集録", year = "2013", volume = "", number = "", publisher = "宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)", month = "jan" }