@misc{weko_2085_1,
   author	 = "剣持,貴弘 and 和田,元 and 百武,徹 and 村本,哲也 and 西田,迪雄",
   title	 = "低エネルギーカーボンスパッタリングに関するXe蓄積効果",
   month	 = "feb",
   year 	 = "2010"
}