@misc{weko_47984_1,
   author	 = "長谷部,孝 and 林,佑 and 正光,義則 and 新田,冬夢 and 松尾,宏 and 関本,裕太郎",
   title	 = "深掘りドライエッチング加⼯を用いたミリ波観測用広帯域シリコンフィルターの開発",
   month	 = "jan",
   year 	 = "2021"
}