WEKO3
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イオンビームによる多層膜の高性能化
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Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
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公開日 | 2015-03-26 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | イオンビームによる多層膜の高性能化 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | マグネトロンスパッタリング | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | X線望遠鏡 | |||||
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主題Scheme | Other | |||||
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主題 | X線光学 | |||||
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主題 | イオンビーム | |||||
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主題 | 反射率 | |||||
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言語 | en | |||||
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主題 | performance improvement | |||||
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キーワード | ||||||
言語 | en | |||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | surface treatment | |||||
キーワード | ||||||
言語 | en | |||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | multilayer film | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
資源タイプ | conference paper | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
その他のタイトル(英) | ||||||
その他のタイトル | Performance improvement of a multilayer film by ion beams | |||||
著者 |
酒井, 知晶
× 酒井, 知晶× 山田, 伸明× 田村, 啓輔× 小賀坂, 康志× 山下, 広順× Sakai, Chiaki× Yamada, Nobuaki× Tamura, Keisuke× Ogasaka, Yasushi× Yamashita, Kojun |
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著者所属 | ||||||
名古屋大学 | ||||||
著者所属 | ||||||
名古屋大学 | ||||||
著者所属 | ||||||
名古屋大学 | ||||||
著者所属 | ||||||
名古屋大学 | ||||||
著者所属 | ||||||
名古屋大学 | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Nagoya University | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Nagoya University | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Nagoya University | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Nagoya University | ||||||
著者所属(英) | ||||||
en | ||||||
Nagoya University | ||||||
出版者 | ||||||
出版者 | 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 | |||||
出版者(英) | ||||||
出版者 | Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA/ISAS) | |||||
書誌情報 |
第4回宇宙科学シンポジウム en : Proceedings of the 4th Space Science Symposium p. 503-506, 発行日 2004-08 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 現在、研究室ではDCマグネトロンスパッタリング装置を使った多層膜X線反射鏡の製作を行っている。天体からの微弱なX線を望遠鏡によって捕らえるには、より反射率の高い反射鏡が必要である。反射率を上げるためには、多層膜の膜質の改善、反射率の高い多層膜の設計が必要である。ここではイオンビームスパッタリング装置の様々な利点を生かし、多層膜の高性能化を行った。 | |||||
資料番号 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 資料番号: AA0047899121 |