Xe照射による炭素スパッタリング計測

西山 正樹; 剣持 貴弘; 和田 元

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宇宙輸送シンポジウム

平成20年度
コンテンツタイプ (Contents Type)

会議発表論文／会議発表用資料 (Conference Paper／Presentation)

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00016765/

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アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	日本語
その他のタイトル（英）	Measurement of carbon sputtering by irradiating Xe
著者	西山正樹剣持貴弘和田元
著者（英）	Nishiyama Masaki Kenmotsu Takahiro Wada Motoi
著者所属	同志社大学大学院工学研究科同志社大学生命医科学部同志社大学大学院工学研究科
著者所属（英）	Graduate School of Engineering, Doshisha University Faculty of Life and Medical Sciences, Doshisha University Graduate School of Engineering, Doshisha University
出版者	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
出版者（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)
雑誌名	宇宙輸送シンポジウム: 講演集録
雑誌名(英)	Proceedings of Space Transportation Symposium
巻	平成20年度
ページ	1 - 4
発行年	2009
会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）	平成20年度宇宙輸送シンポジウム(2009年1月19日-20日, 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部)
抄録	イオンエンジンの推進剤はXe，引き出し電極は炭素で構成されている．Xeが炭素をスパッタする際，理論的に予想される閾値エネルギーは161eVであるが，最近の研究報告ではそれ以下でも有意なスパッタリング収率が観測されている．閾値以下のスパッタリング現象の具体的なメカニズムとして，入射Xe粒子の炭素中蓄積に起因する、閾値低下現象の可能性を検討中である．本研究では，入射ビームの質量分離を磁界偏向により行ない，低エネルギーでスパッタ収率を計測することを目指している．構築中の実験装置系はスパッタ収率の測定にはQMS (Quadrupole mass spectrometer)，QCM(Quartz crystal microbalance)の2つの計測器を有している．このうちQMSはXe蓄積効果を確認するため，Xe入射実験後に炭素ターゲットをベーキングし，Xeの蓄積量を昇温脱離法により計測する際の検出器となる．
内容記述	形態: カラー図版あり
書誌レコードID	AN10324301
資料番号	資料番号: AA0064292078

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