A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition

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アストロダイナミクスシンポジウム

第26回
コンテンツタイプ (Contents Type)

会議発表論文／会議発表用資料 (Conference Paper／Presentation)

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00006883/

A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition 利用統計を見る

アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	英語
その他のタイトル	スパッタリングによる多層膜の曲率管理に関する研究
著者	中村拓磨森治田中孝治松本純渡邊元樹菅原佳城
著者（英）	Nakamura Takuma Mori Osamu Tanaka Koji Matsumoto Jun Watanabe Motoki Sugawara Yoshiki
著者所属	青山学院大学大学院宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS) 青山学院大学青山学院大学
著者所属（英）	Aoyama Gakuin University Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) Aoyama Gakuin University Aoyama Gakuin University
出版者	宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)
出版者（英）	Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)
雑誌名	[第26回アストロダイナミクスシンポジウム講演後刷り集]
雑誌名(英)	The 26th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics
発行年	2016-07
会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）	第26回アストロダイナミクスシンポジウム (2016年7月25-26日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所), 相模原市, 神奈川県
会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）（英）	The 26th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics　2016 (July 25-26, 2016. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan
資料番号	資料番号: SA6000088056
レポート番号	レポート番号: C-14

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