2026-03-06T20:19:55Z https://jaxa.repo.nii.ac.jp/oai

oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00030260 2023-06-21T01:21:28Z 1887:1889

Evaluation of Light Element Impurities in Ultrathin SOI Wafers by Luminescence Activation Using Electron Irradiation 電子線照射発光活性化法による極薄ＳＯＩ層中軽元素不純物の評価 中川, 聰子 Nakagawa, Satoko 博士（工学)　総研大甲第1134号 資料番号: SA8000014000 thesis 総合研究大学院大学(SOKENDAI) The Graduate University for Advanced Studies(SOKENDAI) 2008-03-19 1 106 https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/30260 jpn http://id.nii.ac.jp/1013/00000556/ http://id.nii.ac.jp/1013/00000556/ metadata only access