@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00011411,
 author = {酒井, 知晶 and 山田, 伸明 and 田村, 啓輔 and 小賀坂, 康志 and 山下, 広順 and Sakai, Chiaki and Yamada, Nobuaki and Tamura, Keisuke and Ogasaka, Yasushi and Yamashita, Kojun},
 book = {第5回宇宙科学シンポジウム, Proceedings of the 5th Space Science Symposium},
 month = {Sep},
 note = {X線望遠鏡の反射鏡には広いエネルギー範囲でより高い反射率をもつ反射鏡が必要である。従来のDCマグネトロンスパッタ法と比較して、イオンビームスパッタ法は、より高い真空中での成膜が可能であるため、より純粋で膜質の良い多層膜反射鏡が製作できると言われている。また多数の物質を容易に成膜することが可能であり、反射率が高く広いエネルギー領域で反射可能な反射鏡の製作が可能となる。数百時間連続稼働可能であるRF型イオンビームスパッタリング装置を導入した。ここではRF型イオンビームスパッタリング装置を用いて製作したPt/C多層膜の性能について報告するとともに、イオンビームスパッタリング装置の様々な利点を生かした反射鏡の開発について述べる。, 資料番号: AA0049122157},
 pages = {662--665},
 publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA/ISAS)},
 title = {イオンビームスパッタリング装置を用いた複合多層膜X線反射鏡の開発},
 year = {2005}
}