@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00011557,
 author = {酒井, 知晶 and 山田, 伸明 and 田村, 啓輔 and 小賀坂, 康志 and 山下, 広順 and Sakai, Chiaki and Yamada, Nobuaki and Tamura, Keisuke and Ogasaka, Yasushi and Yamashita, Kojun},
 book = {第4回宇宙科学シンポジウム, Proceedings of the 4th Space Science Symposium},
 month = {Aug},
 note = {現在、研究室ではDCマグネトロンスパッタリング装置を使った多層膜X線反射鏡の製作を行っている。天体からの微弱なX線を望遠鏡によって捕らえるには、より反射率の高い反射鏡が必要である。反射率を上げるためには、多層膜の膜質の改善、反射率の高い多層膜の設計が必要である。ここではイオンビームスパッタリング装置の様々な利点を生かし、多層膜の高性能化を行った。, 資料番号: AA0047899121},
 pages = {503--506},
 publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA/ISAS)},
 title = {イオンビームによる多層膜の高性能化},
 year = {2004}
}