| アイテムタイプ |
会議発表論文 / Conference Paper(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
誘導結合型磁化プラズマの空間分布とイオン温度の計測 |
| 言語 |
|
|
言語 |
jpn |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
イオン温度 |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
誘導結合型プラズマ |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
RFパワー依存性 |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
圧力依存性 |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
空間分布 |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
電子温度 |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
低圧高密度プラズマ |
| キーワード |
|
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
磁場 |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
ion temperature |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
inductively coupled plasma |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
RF power dependence |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
pressure dependence |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
spatial distribution |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
electron temperature |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
low pressure dense plasma |
| キーワード |
|
|
言語 |
en |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
magnetic field |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
|
資源タイプ |
conference paper |
| アクセス権 |
|
|
アクセス権 |
metadata only access |
|
アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| その他のタイトル（英） |
|
|
その他のタイトル |
Measurement of spatial distributions and ion temperatures of inductively coupled magnetic plasmas |
| 著者 |
大津, 康徳
Mihaila, Ilarion
藤田, 寛治
Otsu, Yasunori
Mihaila, Ilarion
Fujita, Hiroharu
|
| 著者所属 |
|
|
|
佐賀大学 理工学部 |
| 著者所属 |
|
|
|
佐賀大学 理工学部 |
| 著者所属 |
|
|
|
佐賀大学 理工学部 |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Saga University Faculty of Science and Engineering |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Saga University Faculty of Science and Engineering |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Saga University Faculty of Science and Engineering |
| 出版者 |
|
|
出版者 |
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 |
| 出版者（英） |
|
|
出版者 |
Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA/ISAS) |
| 書誌情報 |
スペース・プラズマ研究会 平成15年度
en : Space Plasma Conference FY2003
p. 22-25,
発行日 2004-10
|
| 資料番号 |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
資料番号: AA0047901005 |
