@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00014939, author = {白澤, 洋次 and 田中, 孝治 and 草野, 英二 and 福島, 和宏 and 森, 治 and 船瀬, 龍 and 宮崎, 英治 and 豊田, 裕之 and 横田, 力男 and Shirasawa, Yoji and Tanaka, Koji and Kusano, Eiji and Fukushima, Kazuhiro and Mori, Osamu and Funase, Ryu and Miyazaki, Eiji and Toyota, Hiroyuki and Yokota, Rikio}, book = {第28回宇宙構造・材料シンポジウム: 講演集録, Proceedings of 28th Symposium on Aerospace Structure and Materials}, month = {}, note = {第28回宇宙構造・材料シンポジウム(2012年12月4日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)), 相模原市, 神奈川県, 28th Symposium on Aerospace Structure and Materials (December 4, 2012. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan, 形態: カラー図版あり, 形態: CD-ROM1枚, 資料番号: SA6000017026, レポート番号: M07.2-4}, publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS), Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)}, title = {スパッタリングによる薄膜積層構造の曲率管理手法に関する研究}, year = {2012} }