@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00016268,
 author = {和田, 元 and 剣持, 貴弘 and Wada, Motoi and Kenmotsu, Takahiro},
 book = {平成24年度宇宙輸送シンポジウム: 講演集録, Proceedings of Space Transportation Symposium: FY2012},
 month = {Jan},
 note = {平成24年度宇宙輸送シンポジウム (2013年1月17日-1月18日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)), 相模原市, 神奈川県, Space Transportation FY2012 (January 17-18, 2013. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan, 形態: カラー図版あり, 形態: PDF, Physical characteristics: Original contains color illustrations, Physical characteristics: PDF, Translation title: Development of a small sputtering yield measurement system, 資料番号: AA0061856132, レポート番号: STEP-2012-049},
 publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS), Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)},
 title = {小型スパッタ収率測定系の開発},
 year = {2013}
}