@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00016771,
 author = {西山, 正樹 and 剣持, 貴弘 and 和田, 元 and Nishiyama, Masaki and Kenmotsu, Takahiro and Wada, Motoi},
 book = {宇宙輸送シンポジウム: 講演集録, Proceedings of Space Transportation Symposium},
 month = {},
 note = {平成20年度宇宙輸送シンポジウム(2009年1月19日-20日, 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部), イオンエンジンの推進剤はXe，引き出し電極は炭素で構成されている．Xeが炭素をスパッタする際，理論的に予想される閾値エネルギーは161eVであるが，最近の研究報告ではそれ以下でも有意なスパッタリング収率が観測されている．閾値以下のスパッタリング現象の具体的なメカニズムとして，入射Xe粒子の炭素中蓄積に起因する、閾値低下現象の可能性を検討中である．本研究では，入射ビームの質量分離を磁界偏向により行ない，低エネルギーでスパッタ収率を計測することを目指している．構築中の実験装置系はスパッタ収率の測定にはQMS (Quadrupole mass spectrometer)，QCM(Quartz crystal microbalance)の2つの計測器を有している．このうちQMSはXe蓄積効果を確認するため，Xe入射実験後に炭素ターゲットをベーキングし，Xeの蓄積量を昇温脱離法により計測する際の検出器となる．, 形態: カラー図版あり, 資料番号: AA0064292078},
 pages = {1--4},
 publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)},
 title = {Xe照射による炭素スパッタリング計測},
 volume = {平成20年度},
 year = {2009}
}