@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00017602, author = {黒田, 能克 and Kuroda, Yoshikatsu}, book = {第14回高温エレクトロニクス研究会, Proceedings of the 14th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS}, month = {May}, note = {第14回高温エレクトロニクス研究会(2004年2月19日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部(JAXA)(ISAS)), 相模原市, 神奈川県, 14th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS (February 19, 2004. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan, 資料番号: SA6000026004}, pages = {43--58}, publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS), Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)}, title = {MEMS技術の航空宇宙応用}, year = {2004} }