@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00017607,
 author = {江刺, 正喜 and Esashi, Masayoshi},
 book = {第13回高温エレクトロニクス研究会, Proceedings of the 13th ISAS Research Meeting on High Temperature Electronics},
 month = {May},
 note = {MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)(微小電気機械システム)は、電子回路だけでなくセンサやアクチュエータのような異なる要素をシリコン基板上などに集積化したもので、小形でありながら複雑で高度な働きをする。半導体集積回路の製造技術を基本にし、電子、機械、光、材料などの多様な技術を融合した「マイクロマシニング」と呼ばれる微細加工技術で製作され、情報通信(通信用光スイッチなど)、自動車・家電(ジャイロなど)、産業機械(LSIプローバなど)・医学・バイオ(カテーテルなど)、環境・防災(赤外線センサなど)のような広い分野で、高付加価値の基幹部品として使われる。その具体例として、静電浮上による加速度センサと回転ジャイロ、ガラス貫通配線とそれを用いたウェハプローバ用コンダクタ、マルチプローブデー夕ストレージシステム、マルチ鏡筒低エネルギー電子ビーム露光装置、チップ上のマイクロ波フィルターやスイッチなどの高周波用MEMSデバイス、ナノ構造による高感度センシングデバイス、超小形ガスタービン発電器などのマイクロエネルギ源や固体ロケットマイクロスラスタ、最後にMEMSの問題点として多品種少量生産に触れる。, 資料番号: AA0045917001},
 pages = {3--11},
 publisher = {宇宙科学研究所, The Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)},
 title = {MEMSの可能性},
 year = {2003}
}