WEKO3
アイテム
フィールドシールド分離によるSOI/CMOSデバイス技術
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002605
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/200260513652274-aa2f-4d13-bb7f-f0790a37d4d5
| アイテムタイプ | WEKO3_シンポジウム等 / Symposium(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2026-03-12 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | フィールドシールド分離によるSOI/CMOSデバイス技術 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | SOI/CMOS Device Technology using Field Shield Isolation | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||
| 著者 |
一法師, 隆志
× 一法師, 隆志
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| 著者所属 | ||||||||||
| 著者所属 | 三菱電機株式会社ULSI技術開発センター(ja) ULSI Development Center, Mitsubishi Electric Corporation(en) |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 宇宙科学研究所 (ISAS)(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en) |
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| bibliographic_information |
ja : 第9回高温エレクトロニクス研究会 en : Proceedings of the 9th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS 発行日 1999-03 |
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| 会議概要 | ||||||||||
| 会議名 | 第9回高温エレクトロニクス研究会(ja) 9th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS(en) |
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| 開催期間 | 1999-02-10 | |||||||||
| 開催会場 | 宇宙科学研究所 (ISAS), 相模原市, 神奈川県(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS), Sagamihara, Kanagawa Japan(en) |
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| 開催国 | JPN | |||||||||
| 資料番号(Local) | ||||||||||
| 関連識別子 | 資料番号: SA6000221009 | |||||||||
