WEKO3
アイテム
SOI Waferを用いた高耐圧ICの結晶欠陥
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002608
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002608e4590d29-656e-4ec7-a456-bb69c58ae37b
| アイテムタイプ | WEKO3_シンポジウム等 / Symposium(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2026-03-12 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Crystal Defect on SOI HV-ICs | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | SOI Waferを用いた高耐圧ICの結晶欠陥 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||
| 著者 |
奥村, 秀樹
× 奥村, 秀樹
× 馬場, 嘉朗
× 大澤, 明彦
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| 著者所属 | ||||||||||||||||||
| 著者所属 | 株式会社東芝半導体生産技術推進センター(ja) Semiconductor Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation(en) |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 宇宙科学研究所 (ISAS)(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en) |
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| bibliographic_information |
ja : 第9回高温エレクトロニクス研究会 en : Proceedings of the 9th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS 発行日 1999-03 |
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| 会議概要 | ||||||||||||||||||
| 会議名 | 第9回高温エレクトロニクス研究会(ja) 9th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS(en) |
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| 開催期間 | 1999-02-10 | |||||||||||||||||
| 開催会場 | 宇宙科学研究所 (ISAS), 相模原市, 神奈川県(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS), Sagamihara, Kanagawa Japan(en) |
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| 開催国 | JPN | |||||||||||||||||
| 資料番号(Local) | ||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 資料番号: SA6000221012 | |||||||||||||||||
