WEKO3
アイテム
PLマッピングによるデバイス作製用SiCウエハーの不均一性評価
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002609
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/20026090ee7db05-b360-4971-9dbd-0183f1cf995e
| アイテムタイプ | WEKO3_シンポジウム等 / Symposium(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2026-03-12 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | PLマッピングによるデバイス作製用SiCウエハーの不均一性評価 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | Characterization of Nonuniformity of Production-Grade SiC Wafers by Photoluminescence Mapping | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
田島, 道夫
× 田島, 道夫
× 中根, 健智
× 中田, 俊武
× 井上, 森雄
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| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | 宇宙科学研究所(ISAS)(ja), 宇宙科学研究所(ISAS)(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en), Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en) |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 宇宙科学研究所 (ISAS)(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en) |
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| bibliographic_information |
ja : 第8回高温エレクトロニクス研究会 en : Proceedings of the 8th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS 発行日 1998-06 |
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| 会議概要 | ||||||||||||||||||||||
| 会議名 | 第8回高温エレクトロニクス研究会(ja) 8th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS(en) |
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| 開催期間 | 1998-03-12 | |||||||||||||||||||||
| 開催会場 | 宇宙科学研究所 (ISAS), 相模原市, 神奈川県(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS), Sagamihara, Kanagawa Japan(en) |
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| 開催国 | JPN | |||||||||||||||||||||
| 資料番号(Local) | ||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 資料番号: SA6000222001 | |||||||||||||||||||||
