WEKO3
アイテム
イオン注入による6H-SiCの熱酸化膜形成
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002631
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002631668601cd-f308-4844-ae62-66c3a542f81a
| アイテムタイプ | WEKO3_シンポジウム等 / Symposium(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2026-03-12 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | イオン注入による6H-SiCの熱酸化膜形成 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | thermal oxidation of 6H-SiC enhanced by ion-irradiation | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
米田, 知晃
× 米田, 知晃
× 中田, 俊武
× 梶山, 健二
× 渡辺, 正則
× 井上, 森雄
× 北畠, 眞
× 出口, 正洋
× 内田, 正雄
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| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 松下電器産業株式会社中央研究所(ja), 松下電器産業株式会社中央研究所(ja), 松下電器産業株式会社中央研究所(ja) Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Central Research Laboratories, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.(en), Central Research Laboratories, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.(en), Central Research Laboratories, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.(en) |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 宇宙科学研究所 (ISAS)(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en) |
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| bibliographic_information |
ja : 第7回高温エレクトロニクス研究会 en : Proceedings of the 7th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS 発行日 1997-03 |
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| 会議概要 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 会議名 | 第7回高温エレクトロニクス研究会(ja) 7th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS(en) |
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| 開催期間 | 1997-03-06 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 開催会場 | 宇宙科学研究所 (ISAS), 相模原市, 神奈川県(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS), Sagamihara, Kanagawa Japan(en) |
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| 開催国 | JPN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資料番号(Local) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 資料番号: SA6000223006 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
