WEKO3
アイテム
SiCへのNイオン注入とpn接合ダイオードの作製
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002642
https://jaxa.repo.nii.ac.jp/records/2002642bcbdbf78-aaca-4fd8-8e37-b33ef8a06ce9
| アイテムタイプ | WEKO3_シンポジウム等 / Symposium(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2026-03-12 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | SiCへのNイオン注入とpn接合ダイオードの作製 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Nitrogen Ion Implantation into SiC and Fabrication of pn Junction Diodes | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
木本, 恒暢
× 木本, 恒暢
× 井上, 尚也
× 松波, 弘之
× 中田, 俊武
× 井上, 森雄
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| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | 京都大学工学研究科(ja), 京都大学工学研究科(ja), 京都大学工学研究科(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja), 株式会社イオン工学研究所(ja) Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University(en), Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University(en), Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en), Ion Engineering Research Institute Corporation(en) |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 宇宙科学研究所 (ISAS)(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)(en) |
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| bibliographic_information |
ja : 第6回高温エレクトロニクス研究会 en : Proceedings of the 6th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS 発行日 1996-03 |
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| 会議概要 | ||||||||||||||||||||||||||
| 会議名 | 第6回高温エレクトロニクス研究会(ja) 6th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS(en) |
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| 開催期間 | 1996-03-12 | |||||||||||||||||||||||||
| 開催会場 | 宇宙科学研究所 (ISAS), 相模原市, 神奈川県(ja) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS), Sagamihara, Kanagawa Japan(en) |
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| 開催国 | JPN | |||||||||||||||||||||||||
| 資料番号(Local) | ||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 資料番号: SA6000224003 | |||||||||||||||||||||||||
