@misc{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00030260,
 author = {中川, 聰子 and Nakagawa, Satoko},
 month = {Mar},
 note = {博士（工学)　総研大甲第1134号, 資料番号: SA8000014000},
 title = {電子線照射発光活性化法による極薄ＳＯＩ層中軽元素不純物の評価},
 year = {2008}
}