@article{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00033000,
 author = {水方, 勝哉 and 常深, 博 and 平松, 誠 and MIZUKATA, K. and TSUNEMI, H. and HIRAMATSU, M.},
 journal = {宇宙科学研究所報告. 特集: 宇宙観測研究報告},
 month = {Mar},
 note = {現在, 広く可視光用に使用されている市販のCCD素子(シャープ株式会社製, LZ22187)に, 軟X線を照射して, 熱雑音, 読み出し雑音, 転送効率等が, 軟X線領域でエネルギー分解能, 位置分解能にどの様に影響を及ぼすかを調べた。その結果, 動作温度-60℃程度で, 光子計数をした場合, エネルギー分解能は読み出し雑音で決まり, 半値幅900eVで半導体検出器には及ばない。しかし, 二次元撮像をさせる積分型の素子としては各画素単位 (23×27μm) までの位置分解能があり, 十分な性能を持っていることが判った。可視光用のCCDでも, X線領域で連続して二次元像を撮るには, 大変有利な素子であると言える。X線の検出効率から, この素子の空乏層の厚さは3μm程度であり, 高エネルギー側では検出効率が下がる。この実験を基に, CCDにX線領域で更に優れた性能を持たせる可能性を探った。その結果, エネルギー分解能を良くするためには, 素子に搭載するアンプを低雑音化し, 検出効率を上げるためには空乏層を厚くすれば, これまでにない優れた検出器となることが判った。, We report here the characteristics of a charge coupled device (CCD) in the energy region of 2-8keV. The CCD device we used is a product of Sharp Corp. named LZ22187 which is widely used in optical region. This device is operated in the same condition as that of a commercial use with the exception that the cover glass is removed for the X-ray to reach the photo diode. It is an interline-transfer type device with 386×488 elements while we summed up internally every two adjacent elements. We exposed the X-ray to the CCD at about -60℃. The energy resolution is about 900 ev (FWHM) which is mainly determined not by the incident X-ray energy but by the read-out noise. We found that this device could yield sufficient information for two dimensional image. The spatial resolution is up to individual element size (23×27μm). The efficiency for the X-ray is much superior to that of the film. We discuss the possibility to improve the characteristics of the CCD in X-ray energy region., 資料番号: SA0166839000},
 pages = {15--29},
 title = {可視光用 CCD の軟 X 線に対する特性},
 volume = {21},
 year = {1988}
}