@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00039453, author = {新藤, 浩之 and 海老原, 司 and 森川, 剛一 and 久保山, 智司 and 田村, 高志 and Shindou, Hiroyuki and Ebihara, Tsukasa and Morikawa, Koichi and Kuboyama, Satoshi and Tamura, Takashi}, book = {第56回宇宙科学技術連合講演会講演集}, month = {Nov}, note = {第56回宇宙科学技術連合講演会(2012年11月20日-22日. 別府国際コンベンションセンター(ビーコンプラザ)), 別府市, 大分県, 資料番号: ARDS12078000}, publisher = {日本航空宇宙学会}, title = {0.15μmSOIプロセス技術をベースとした宇宙用半導体デバイスの開発}, year = {2012} }