@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00039473,
 author = {土屋, 佑太 and 加藤, 真耶 and 加藤, 一郎 and 内田, 修 and Tsuchiya, Yuta and Kato, Maya and Kato, Ichiro and Uchida, Osamu},
 book = {第56回宇宙科学技術連合講演会講演集},
 month = {Nov},
 note = {第56回宇宙科学技術連合講演会（2012年11月20日-22日. 別府国際コンベンションセンター（ビーコンプラザ）), 別府市, 大分県, 資料番号: ARDS12099000},
 publisher = {日本航空宇宙学会},
 title = {宇宙用MEMSデバイスの研究開発},
 year = {2012}
}