| Item type |
会議発表論文 / Conference Paper(1) |
| 公開日 |
2017-10-27 |
| タイトル |
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タイトル |
An Ohmic Contact Type RF-MEMS Switch Having Au-Au/CNTs Contacts |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
RF-MEMS switch |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Ohmic contact |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
CNT |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
reliability |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
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資源タイプ |
conference paper |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
影山, 智明
篠崎, 孝一
張, 嵐
魯, 健
高木, 秀樹
李, 相錫
Kageyama, Tomoaki
Shinozaki, Koichi
Zhang, Lan
Lu, Jian
Takaki, Hideki
Lee, Sang-Seok
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| 著者所属 |
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鳥取大学 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構(JAXA) |
| 著者所属 |
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産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター(AIST) |
| 著者所属 |
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産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター(AIST) |
| 著者所属 |
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産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター(AIST) |
| 著者所属 |
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鳥取大学 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Tottori University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Tottori University |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| 書誌情報 |
en : Proceedings of the IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
p. 287-290,
発行日 2017
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
12th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (April 9-12, 2017. UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center), Los Angeles, California, USA |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
形態: カラー図版あり |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Physical characteristics: Original contains color illustrations |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
2474-3755 |
| ISBN |
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識別子タイプ |
ISBN |
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関連識別子 |
978-1-5090-3059-0 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1109/NEMS.2017.8017026 |
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関連名称 |
info:doi/10.1109/NEMS.2017.8017026 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: PA1710065000 |
| レポート番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
レポート番号: CFP17NME-ART |
