@misc{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00047027, author = {薮田, 直人 and パク, ヒョソン and 渡部, 達也 and 小野田, 稜太 and 後藤, 優花 and 中岡, 俊裕 and 正光, 義則 and 内海, 淳 and 川崎, 繁男 and YABUTA, Naoto and PARK, Hyoseong and WATANABE, Tatsuya and ONODA, Ryota and GOTO, Yuka and NAKAOKA, Toshihiro and SHOHMITSU, Yoshinori and UTSUMI, Jun and KAWASAKI, Shigeo}, month = {Jan}, note = {第20回宇宙科学シンポジウム (2020年1月8日-9日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)相模原キャンパス), 相模原市, 神奈川県, 20th Space Science Symposium (January 8-9, 2020. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)Sagamihara Campus), Sagamihara, Kanagawa Japan, 資料番号: SA6000152101, レポート番号: P1.75}, title = {宇宙ナノエレクトロニクスCRのプロセス装置を用いた混成半導体集積回路の試作}, year = {2020} }