@misc{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00047984,
 author = {長谷部, 孝 and 林, 佑 and 正光, 義則 and 新田, 冬夢 and 松尾, 宏 and 関本, 裕太郎 and HASEBE, Takashi and HAYASHI, Tasuku and SHOHMITSU, Yoshinori and NITTA, Tom and MATSUO, Hiroshi and SEKIMOTO, Yutaro},
 month = {Jan},
 note = {第21回宇宙科学シンポジウム (2021年1月6日-7日. オンライン開催), 21st Space Science Symposium (January 6-7, 2021. Online Meeting), 資料番号: SA6000163173, レポート番号: Pa.30},
 title = {深掘りドライエッチング加⼯を用いたミリ波観測用広帯域シリコンフィルターの開発},
 year = {2021}
}