@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00006889, author = {中村, 拓磨 and 森, 治 and 田中, 孝治 and 松本, 純 and 渡邊, 元樹 and 菅原, 佳城 and Nakamura, Takuma and Mori, Osamu and Tanaka, Koji and Matsumoto, Jun and Watanabe, Motoki and Sugawara, Yoshiki}, book = {[第26回アストロダイナミクスシンポジウム講演後刷り集], The 26th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics}, month = {Jul}, note = {第26回アストロダイナミクスシンポジウム (2016年7月25-26日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所), 相模原市, 神奈川県, The 26th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics 2016 (July 25-26, 2016. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan, 資料番号: SA6000088056, レポート番号: C-14}, publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS), Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)}, title = {A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition}, year = {2016} }