@inproceedings{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00006922, author = {中村, 琢磨 and 小林, 信之 and 森, 治 and 白澤, 洋次 and 菊池, 隼仁 and 寺元, 祐貴 and Nakamura, Takuma and Kobayashi, Nobuyuki and Mori, Osamu and Shirasawa, Yoji and Kikuchi, Junji and Teramoto, Yuki}, book = {[第25回アストロダイナミクスシンポジウム講演後刷り集], The 25th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics}, month = {Jul}, note = {第25回アストロダイナミクスシンポジウム (2015年7月27-28日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所), 相模原市, 神奈川県, The 25th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics 2015 (July 27-28, 2015. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan, 資料番号: SA6000054025, レポート番号: B-3}, pages = {105--108}, publisher = {宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS), Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)}, title = {A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition}, year = {2015} }