@misc{oai:jaxa.repo.nii.ac.jp:00009000, author = {山本, 啓太 and 和田, 武彦 and 三田, 信 and 宮地, 晃平 and Yamamoto, Keita and Wada, Takehiko and Mita, Makoto and Miyachi, Akihira}, month = {Jan}, note = {第15回宇宙科学シンポジウム (2015年1月6日-7日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)相模原キャンパス), 相模原市, 神奈川県, 15th Space Science Symposium (January 6-7, 2015. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)Sagamihara Campus), Sagamihara, Kanagawa Japan, 資料番号: SA6000034105, レポート番号: P-105}, title = {MEMS技術を用いた遠赤外線光学フィルターの開発}, year = {2015} }