| アイテムタイプ |
会議発表論文 / Conference Paper(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
高重力環境下におけるプラズマの発光分光のその場診断:ダイヤモンドCVD合成への応用 |
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言語 |
jpn |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
OES |
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Other |
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主題 |
CVD |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
過重力 |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
プラズマ診断 |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
核形成 |
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Other |
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主題 |
ダイヤモンド薄膜 |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
結晶成長 |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
SEM |
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言語 |
en |
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Other |
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主題 |
OES |
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言語 |
en |
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Other |
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主題 |
CVD |
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言語 |
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Other |
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主題 |
hypergravity |
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言語 |
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Other |
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主題 |
plasma diagnostics |
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en |
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Other |
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主題 |
nucleation |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
diamond film |
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en |
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Other |
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主題 |
crystal growth |
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en |
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Other |
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主題 |
SEM |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
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資源タイプ |
conference paper |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| その他のタイトル（英） |
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その他のタイトル |
In-situ diagnostics with optical emission spectroscopy for DC-plasma diamond CVD in high gravity |
| 著者 |
田中, 勇紀
Tappero, Fabrizio
阿部, 宜之
田口, 浩史
行田, 薫
高木, 喜樹
Tanaka, Yuki
Tappero, Fabrizio
Abe, Yoshiyuki
Taguchi, Hiroshi
Gyoda, Kaoru
Takagi, Yoshiki
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帝京科学大学 |
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帝京科学大学 |
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帝京科学大学 |
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帝京科学大学 |
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帝京科学大学 |
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帝京科学大学 |
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Teikyo University of Science and Technology |
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Teikyo University of Science and Technology |
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en |
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Teikyo University of Science and Technology |
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Teikyo University of Science and Technology |
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en |
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Teikyo University of Science and Technology |
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en |
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Teikyo University of Science and Technology |
| 出版者 |
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出版者 |
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA/ISAS) |
| 書誌情報 |
宇宙利用シンポジウム 第20回 平成15年度
en : Space Utilization Research: Proceedings of the Twentieth Space Utilization Symposium
p. 216-219,
発行日 2004-03
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| 抄録（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Although it was confirmed that nucleation density and crystal growth rate in the diamond thin films by means of DC-plasma CVD were increased with increasing gravity, the reasons of these effects have not clearly been explained. To this end, an OES (optical emission spectroscopy) apparatus was installed in the high gravity equipment. In-situ plasma diagnostics enabled identification of the active species in the plasma, and a series of experiments were conducted for various experimental conditions with gravity, substrate temperatures, and methane concentration as the parameters. |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: AA0046917068 |
