| Item type |
テクニカルレポート / Technical Report(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
低エネルギーXe原子による炭素スパッタリングの分子動力学シミュレーション |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Molecular Dynamics Simulation, Low-Energy Sputtering, Sputtering Database |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh |
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資源タイプ |
technical report |
| その他のタイトル（英） |
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その他のタイトル |
MD Simulation of Carbon Sputtering under Low-energy Xe Ion Bombardment |
| 著者 |
村本, 哲也
剣持, 貴弘
百武, 徹
西田, 迪雄
Muramoto, Tetsuya
Kenmotsu, Takahiro
Hyakutake, Toru
Nishida, Michio
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| 著者所属 |
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岡山理科大学 |
| 著者所属 |
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同志社大学 |
| 著者所属 |
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岡山大学 |
| 著者所属 |
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崇城大学 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Okayama University of Science |
| 著者所属（英） |
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en |
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Doshisha University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Okayama University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Sojo University |
| 出版者 |
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出版者 |
宇宙航空研究開発機構 |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 書誌情報 |
宇宙航空研究開発機構研究開発報告: イオン加速グリッド耐久認定用数値解析 JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集
en : JAXA Research and Development Report
巻 JAXA-RR-09-004,
発行日 2010-02-26
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Workshop on research and development of JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) tool for numerical evaluation of ion engine grid lifetime |
| 抄録（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
In order to develop the sputtering database to estimate the erosion of accelerator grids of an ion engine, the low-energy sputtering of carbon material with Xe ion is studied through molecular dynamics (MD) simulations. For the normal incidence, the MD result of sputtering yield almost agrees with the experimental result by Williams et al. (AIAA-2004-3788). However, the experimental result shows less incident angle dependence than the MD result. Because it seems that Xe ions in the experiment feel randomized surface normal vectors when the low-energy Xe ion caused many-body collisions to local surface atoms in rough surface. Thus, it is proper that the MD simulation in a smooth surface overestimates the incident angle dependence of sputtering yield. Hence, it is necessary to include the effect of surface roughness using Monte-Carlo simulation with the sputtering database for plane surface. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
形態: カラー図版あり |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Physical characteristics: Original contains color illustrations |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1349-1113 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA1192675X |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: AA0064642003 |
| レポート番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
レポート番号: JAXA-RR-09-004 |
64642003.pdf (623.2 kB)
