| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Microscopy and Electrical Properties of Ge/Ge Interfaces Bonded by Surface-Activated Wafer Bonding Technology |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
渡辺, 健太郎
和田, 健介
金田, 英宏
Ide, Kensuke
Kato, Masahiro
和田, 武彦
Watanabe, Kentaroh
Wada, Kensuke
Kaneda, Hidehiro
Ide, Kensuke
Kato, Masahiro
Wada, Takehiko
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| 著者所属 |
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東京大学 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属 |
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名古屋大学 |
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三菱重工業 |
| 著者所属 |
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三菱重工業 |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所（JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research Center for Advanced Science and Technology, University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Graduate School of Science, Nagoya University |
| 著者所属（英） |
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en |
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Engineering Department, Machine Tool Division, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. |
| 著者所属（英） |
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en |
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Electronic Equipment and Device Design Section, Department of Space and Integrated Defense Systems, Nagoya Guidance and Propulsion Systems Works, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
The Japan Society of Applied Physics |
| 書誌情報 |
en : Japanese Journal of Applied Physics
巻 50,
号 1,
p. 015701-1-015701-5,
発行日 2011
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| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Accepted: 2010-09-03 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0021-4922 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00690800 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.50.015701 |
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関連名称 |
info:doi/10.1143/JJAP.50.015701 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1002710000 |
