Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
公開日 |
2015-03-26 |
タイトル |
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タイトル |
大口径紫外線光源の開発 |
言語 |
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言語 |
jpn |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
その他のタイトル(英) |
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その他のタイトル |
Development of a large EUV source |
著者 |
小山, 孝一郎
鈴木, 勝久
河島, 信樹
提井, 信力
中村, 良治
島津, 雄滋
伊藤, 宏之
中村, 克夫
Oyama, K.I.
SUZUKI, K.
KAWASHIMA, N.
TEII, S.
NAKAMURA, Y.
SHIMAZU, Y.
ITOH, H.
NAKAMURA, K.
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著者所属 |
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横浜国立大学 |
著者所属 |
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武蔵工業大学 |
著者所属 |
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浜松フォトニクス |
著者所属 |
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浜松フォトニクス |
著者所属 |
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浜松フォトニクス |
出版者 |
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出版者 |
宇宙科学研究所 |
出版者(英) |
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出版者 |
Institute of Space and Astronautical Science |
書誌情報 |
宇宙科学研究所報告. 特集: 宇宙観測研究報告
巻 23,
p. 265-276,
発行日 1989-03
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抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
照射口径36cmを持つ紫外線光源を開発した。本装置の照射面から30cm離れた場所での波長1216Aの紫外線強度は, この波長における太陽光源強度の約10倍である。光源はDC点灯できると共にパルスにも点灯できる。 |
抄録(英) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
An EUV plasma source has been developed. A total of 48 small EUV lamps weve put together to give a radiation diameter of 30cm. The intensity of the EUV is nearly 10 times the solar intensity at hydrogen Lyman-α at a distance of 30cm from the source. The source can emit EUV radiation either continuously or in pulses. |
ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0285-9920 |
書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00354485 |
資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA0166894000 |