| Item type |
会議発表論文 / Conference Paper(1) |
| 公開日 |
2016-08-15 |
| タイトル |
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タイトル |
JAXAにおけるコンタミネーションの光学特性測定手法 |
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言語 |
jpn |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
contamination |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
outgas |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
deposition |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
optics |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
apparatus |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 |
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資源タイプ |
conference paper |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| その他のタイトル（英） |
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その他のタイトル |
Optical measurement methods of contamination at JAXA |
| 著者 |
宮崎, 英治
美浦, 由佳
島崎, 一紀
沼田, 治
山中, 理代
木本, 雄吾
Miyazaki, Eiji
Miura, Yuka
Shimazaki, Kazunori
Numata, Osamu
Yamanaka, Riyo
Kimoto, Yugo
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
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宇宙航空研究開発機構研究開発部門(JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Research and Development Directorate, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 出版者 |
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出版者 |
日本航空宇宙学会(JSASS) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
The Japan Society for Aeronautical and Space Sciences (JSASS) |
| 書誌情報 |
第59回宇宙科学技術連合講演会講演集
en : Proceedings of 59th Space Sciences and Technology Conference
発行日 2015-10-07
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| 関係URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://www.jsass.jp/conference/sstc59.php |
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関連名称 |
https://www.jsass.jp/conference/sstc59.php |
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
第59回宇宙科学技術連合講演会（2015年10月7日-9日. かごしま県民交流センター), 鹿児島市, 鹿児島県 |
| 抄録（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Basically, contamination control has been established based on thickness of contaminant in measurements and/or analysis. However, though effect of contaminant is much more important for users who have to implement contamination control than thickness of contaminant, it is limited to the thickness so far because of technical difficulties. In addition, there are very few literatures for such optical effects of condensed contaminants. In this situation, lots of efforts were made to understand the optical effect of condensed contaminants with ex-situ measurements, i.e., contaminants were deposited on a substrate in a vacuum chamber, then the substrate was measured outside the chamber by, e.g., a spectrometer. Ex-situ method has some disadvantages, e.g., thickness of contaminant can not be measured precisely; change can be occurred during handling in a room environment at atmospheric pressure, etc. In order to overcome such disadvantages, JAXA has developped two types of in-situ measurement apparatuses. In this paper, the authors report the overview of the two apparatuses and some results obtained by the apparatuses. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
形態: カラー図版あり |
| 内容記述（英） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Physical characteristics: Original contains color illustrations |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11800503 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: AC1600021000 |
| レポート番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
レポート番号: JSASS-2015-4165 |
