| Item type |
会議発表用資料 / Presentation(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
「LSIプロセス診断技術」による民生用半導体部品の評価 |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f |
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資源タイプ |
conference object |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| その他のタイトル（英） |
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その他のタイトル |
The evaluation of commercial semiconductor devices by "The LSI Process Diagnosis Technology" |
| 著者 |
矢部, 一博
田中, 大起
岡, 克己
久保山, 智司
松田, 純夫
Yabe, kazuhiro
Tanaka, Daiki
Oka, Katsumi
Kuboyama, Satoshi
Matsuda, Sumio
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| 著者所属 |
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沖エンジニアリング |
| 著者所属 |
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沖エンジニアリング |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構総合技術研究本部宇宙用部品開発共同センター(JAXA) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構総合技術研究本部宇宙用部品開発共同センター(JAXA) |
| 著者所属 |
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宇宙航空研究開発機構総合技術研究本部宇宙用部品開発共同センター(JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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OKI Engineering |
| 著者所属（英） |
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en |
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OKI Engineering |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space Technology and Aeronautics, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space Technology and Aeronautics, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space Technology and Aeronautics, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA) |
| 出版者 |
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出版者 |
宇宙航空研究開発機構(JAXA) |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) |
| 書誌情報 |
発行日 2003
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| 関係URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://eeepitnl.tksc.jaxa.jp/mews/jp/16th/pdf/presen/day02/07.pdf |
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関連名称 |
https://eeepitnl.tksc.jaxa.jp/mews/jp/16th/pdf/presen/day02/07.pdf |
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
第16回マイクロエレクトロニクスワークショップ(2003年10月24日) |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: ARDS03045000 |
