Photoluminescence Mapping of a SiC Wafer in Device Processing

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【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】

JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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インデックス

Permalink : http://id.nii.ac.jp/1696/00027377/

アイテムタイプ	学術雑誌論文 / Journal Article
言語	英語
著者	田島道夫菅原岳樹星乃紀博谷本智高橋徹夫中島信一山本武継
著者（英）	Tajima Michio Sugahara T. Hoshino Norihiro Tanimoto Satoshi Takahashi Tetsuo Nakashima Shinichi Yamamoto T.
著者所属	宇宙科学研究所 (ISAS) 宇宙科学研究所 (ISAS) 宇宙科学研究所 (ISAS) 日産自動車産業技術総合研究所産業技術総合研究所住友化学
著者所属（英）	Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) Nissan Research Center, Nissan Motor Co., Ltd. National Institute of Advanced Industrial Science and Technology National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Sumitomo Chemical Co., Ltd.
出版者（英）	Trans Tech Publications
雑誌名	Materials Science Forum
巻	457-460
ページ	569 - 572
発行年	2004
ISSN	0255-5476
書誌レコードID	AA10695957
DOI	info:doi/10.4028/www.scientific.net/MSF.457-460.569
資料番号	資料番号: SA1004087000

★2020年4月10日

【JAXA Repository リニューアルのお知らせ】
JAXA Repositoryは2020年4月10日より、JAIRO Cloudへ移行いたしました。

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