| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Photoluminescence Mapping of a SiC Wafer in Device Processing |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
田島, 道夫
菅原, 岳樹
星乃, 紀博
谷本, 智
高橋, 徹夫
中島, 信一
山本, 武継
Tajima, Michio
Sugahara, T.
Hoshino, Norihiro
Tanimoto, Satoshi
Takahashi, Tetsuo
Nakashima, Shinichi
Yamamoto, T.
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| 著者所属 |
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宇宙科学研究所 (ISAS) |
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宇宙科学研究所 (ISAS) |
| 著者所属 |
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宇宙科学研究所 (ISAS) |
| 著者所属 |
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日産自動車 |
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産業技術総合研究所 |
| 著者所属 |
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産業技術総合研究所 |
| 著者所属 |
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住友化学 |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Nissan Research Center, Nissan Motor Co., Ltd. |
| 著者所属（英） |
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en |
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
| 著者所属（英） |
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en |
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
| 著者所属（英） |
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en |
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Sumitomo Chemical Co., Ltd. |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Trans Tech Publications |
| 書誌情報 |
en : Materials Science Forum
巻 457-460,
p. 569-572,
発行日 2004
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0255-5476 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA10695957 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.457-460.569 |
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関連名称 |
info:doi/10.4028/www.scientific.net/MSF.457-460.569 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1004087000 |
