| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Switched-Layer Design for SOI Bulk Micromachined XYZ Stage Using Stiction Bar for Interlayer Electrical Connection |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
高橋, 一浩
三田, 信
藤田, 博之
年吉, 洋
Takahashi, K.
Mita, M.
Fujita, H.
Toshiyoshi, H.
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| 著者所属 |
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東京大学 : 神奈川科学技術アカデミー |
| 著者所属 |
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東京大学 : 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部（JAXA) (ISAS) |
| 著者所属 |
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東京大学 |
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東京大学 : 神奈川科学技術アカデミー |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Kanagawa Academy of Science and Technology |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS) |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
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en |
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Institute of Industrial Science, The University of Tokyo : Kanagawa Academy of Science and Technology |
| 出版者（英） |
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出版者 |
Institute of Electrical and Electronics Engineers |
| 書誌情報 |
en : Journal of Microelectromechanical Systems
巻 18,
号 4,
p. 818-827,
発行日 2009-08
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1057-7157 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA10821111 |
| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2009.2018371 |
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関連名称 |
info:doi/10.1109/JMEMS.2009.2018371 |
| 資料番号 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
資料番号: SA1000828000 |
