| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2015-03-26 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
Uniaxial and biaxial strain field dependence of the thermal oxidation rate of silicon |
|
言語 |
en |
| 言語 |
|
|
言語 |
eng |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
|
|
アクセス権 |
metadata only access |
|
アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 著者 |
乃万, 裕一
高橋, 宏行
藤岡, 洋
尾嶋, 正治
馬場, 祐治
廣瀬, 和之
丹羽, 正昭
臼田, 宏治
平下, 紀夫
Noma, Hirokazu
Takahashi, Hiroyuki
Fujioka, Hiroshi
Oshima, Masahara
Baba, Yuji
Hirose, Kazuyuki
Niwa, Masaaki
Usuda, Koji
Hirashita, Norio
|
| 著者所属 |
|
|
|
東京大学 |
| 著者所属 |
|
|
|
東京大学 |
| 著者所属 |
|
|
|
東京大学 |
| 著者所属 |
|
|
|
東京大学 |
| 著者所属 |
|
|
|
日本原子力研究開発機構 |
| 著者所属 |
|
|
|
宇宙科学研究所 |
| 著者所属 |
|
|
|
半導体理工学研究センター |
| 著者所属 |
|
|
|
半導体理工学研究センター |
| 著者所属 |
|
|
|
半導体理工学研究センター |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Department of Applied Chemistry, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Department of Applied Chemistry, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Department of Applied Chemistry, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Department of Applied Chemistry, The University of Tokyo |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Japan Atomic Energy Research Institute |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Institute of Space and Astronautical Science (ISAS) |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Semiconductor Technology Academic Research Center |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Semiconductor Technology Academic Research Center |
| 著者所属（英） |
|
|
|
en |
|
|
Semiconductor Technology Academic Research Center |
| 出版者（英） |
|
|
出版者 |
American Institute of Physics |
| 書誌情報 |
en : Journal of Applied Physics
巻 90,
号 10,
p. 5434-5437,
発行日 2001-11
|
| 内容記述（英） |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
Accepted: 2001-08-30 |
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
ISSN |
|
収録物識別子 |
0021-8979 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AA00693547 |
| DOI |
|
|
|
識別子タイプ |
DOI |
|
|
関連識別子 |
http://dx.doi.org/10.1063/1.1413229 |
|
|
関連名称 |
info:doi/10.1063/1.1413229 |
| 資料番号 |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
資料番号: SA1002030000 |
